耐超高溫玻璃的雜質以AL、Ca、Cu、Fe、K、Li、Mg、Mn、Na、Ti等有害元素為主，其元素間有著一定的相互依存和共生的關系。鋁是耐超高溫玻璃原料中最中要的雜質，在耐超高溫玻璃種替代硅，很難去除，但共生物鉀、鈉和鋰隨鋁的含量的增降二増降，因此在處理過程中有目的的摻入能和石英鐘有害雜質產生反應的物質，在高溫條件下反應物易溶于水或酸，再經過水洗或酸洗而去掉有害雜質達到提純的目的。使用本工藝時，清洗水和費酸液應經過廢水綜合處理后達標排放。

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