脫羥溫度：脫羥過(guò)程實(shí)際上市石英玻璃中的≡Si—OH之間的—OH和H⁺反應(yīng)生產(chǎn)H₂O分子而擴(kuò)散釋放出的過(guò)程，因此溫度應(yīng)達(dá)到石英玻璃的應(yīng)變溫度（n=10^14.5dPa·s）。大量實(shí)驗(yàn)證明，脫羥溫度在應(yīng)變溫度和轉(zhuǎn)變溫度（n=10¹³dPa·s）之間較適合。溫度低，分子運(yùn)動(dòng)減慢，脫羥時(shí)間長(zhǎng)；溫度高，脫羥時(shí)間短但玻璃在高溫下易產(chǎn)生變形或析晶。通常脫羥采用的溫度為950～1100℃之間，不同生產(chǎn)工藝制備的石英玻璃采用的脫羥時(shí)間有所不同。

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