1、  高遠(yuǎn)紫外透過(guò)：采用氣相沉積合成石英玻璃具有很寬的紫外透過(guò)率范圍，10mm厚的合成石英玻璃在190nm處透過(guò)率≥80%。這是因?yàn)樵擃愂�英玻璃具有很低的金屬離子含量，一般金屬雜質(zhì)總含量小于3×10^-6，適宜做紫外光學(xué)器件，如：比色皿、光掩模基片等。

2、  高光學(xué)均勻性：合成石英玻璃沉積過(guò)程是納米級(jí)水合二氧化硅微粉在高溫下沉積而成的，顆粒結(jié)構(gòu)很小，各向分布均勻，光學(xué)均勻性高。對(duì)于50mm的玻璃鏡片其光學(xué)均勻性可達(dá)到10-5~10-6，這是水晶熔煉石英玻璃所不能到達(dá)的，適宜做高級(jí)光學(xué)鏡頭、通訊光纖等。

3、  優(yōu)質(zhì)的耐輻照性能：氫氧焰合成石英玻璃具有很高的耐輻照性能，這是因?yàn)樗�的金屬雜質(zhì)含量低，羥基含量高。可經(jīng)受大劑量γ射線或中子射線輻照而不變色。可用做航天光學(xué)器件。

但合成石英玻璃也有其性能不足：由于該類石英玻璃羥基含量很高，所以在2.73μm處有很大吸收峰，影響其紅外光學(xué)性能；同時(shí)也導(dǎo)致玻璃的耐熱性能下降。不過(guò)，PCVD(等離子化學(xué)氣相沉積)工藝制作石英玻璃不存在上述問(wèn)題，它采用無(wú)氫火焰，具有很低的羥基含量，可全光譜透過(guò)（190~3000nm），是理想的石英玻璃材料。