
將備用石英玻璃坨放在涂鎢粉并經(jīng)高溫焙燒過的石墨坩堝中,填裝真空加壓爐內(nèi)密閉爐體,在真空(160Pa)升溫,升溫過程不同于水晶原料電熔法生產(chǎn)石英玻璃“兩急一緩”的升溫工藝,在350℃以下升溫不可過快,因在低溫區(qū)升溫過快,石英玻璃坨內(nèi)外溫差大,應(yīng)力急劇增大,會造成石英玻璃的炸裂——俗稱“冷炸”。待石英玻璃坨內(nèi)外溫度均勻后(大約30min)可均勻地快速升溫,直到玻璃軟化變形,開始保溫,30min后關(guān)閉真空泵充入N2加壓,壓力4MPa左右,加壓保溫40~60min(視爐內(nèi)玻璃的均化程度而定),待確認已好后徐徐降溫,降溫速度不可過快,以免玻璃產(chǎn)生過大的應(yīng)力造成玻璃的炸裂。
通常情況下,石英玻璃坨經(jīng)過一次均化后,坨中原有的為熔SiO2微粒氣泡即消失,但通過對其羥基分布測試,分布不均的現(xiàn)象尚未完全改善,根據(jù)使用的具體要求,有時需進行兩次以上的均化處理,但需將前一次的石英坨在裝爐時將方向改變180°,即把前一次的上表面作為下一次的下表面,這樣由于石英玻璃本身在軟化方向上經(jīng)過多次的變化就使石英玻璃內(nèi)部大的完全均化。一般情況下,合成石英玻璃需進行兩次貨以上的均化處理過程才能達到充分均化。
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