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    新聞詳情

    在線CVD法生產(chǎn)單向透視玻璃的工作原理及工藝流程
     發(fā)布時間:2015年08月31日 瀏覽:6660

    在線CVD制備硅質(zhì)膜技術是以硅烷、乙烯為原料,浮法錫槽為制備硅質(zhì)膜提供了適合的溫度和還原性氣氛。硅烷、乙烯和氮氣按一定比例進入安置在玻璃板上面的反應器,并以穩(wěn)定的層流方式流過玻璃板表面,這時,硅烷借助反應器的特殊結構,并在還原氣氛的條件下,溫度超過400℃時開始分解,形成產(chǎn)物是無定形硅,當溫度超過600℃時,形成多晶硅。多晶硅沉積在玻璃表面形成硅質(zhì)膜層,同時硅烷反應后產(chǎn)生的氫被乙烯吸附,生產(chǎn)乙烷和甲烷。這些多余氣體和呈褐色的多余硅質(zhì)粉一起從反應器兩側的排氣孔排走,其化學反應式如下:

    SiH4Si+H

    C2H4+HC2O6(CH)

    浮法玻璃在線鍍硅質(zhì)膜生產(chǎn)工藝示意圖見4-19.

    在線鍍硅質(zhì)膜生產(chǎn)工藝示意

    混合氣體經(jīng)由反應器以層流方式流向玻璃板,經(jīng)過擴散、吸附、熱分解和氫解吸附,從而在玻璃板上沉積形成多晶硅膜。

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